【編者按】因地制宜發展新質生產力,是江蘇推動高質量發展的核心戰略路徑雕刻。作為全國製造業叢集規模最大的省份,江蘇以科技創新為引擎,統籌推進傳統產業升級、新興產業壯大、未來產業培育。為生動講述新質生產力在江蘇從“概念”到“遍地開花”的精彩故事,央廣網江蘇頻道策劃推出融媒體專欄《你好,新質造》。本期,我們走進華潤微電子有限公司,看這家功率半導體領軍企業如何用一張張“精密底片”雕刻中國半導體產業的創新刻度。
一塊晶片的誕生,從一張“底片”開始雕刻。
在半導體制造流程中,掩模版是連線設計圖紙與晶圓產線的核心載體,它的精度直接決定了晶片效能的上限雕刻。“如果掩模質量不達標,整片晶圓都可能報廢。”華潤微電子有限公司董事長何小龍說。
聚光光學檢驗,甄別掩模版表面微粒瑕疵(央廣網發 華潤微電子有限公司供圖)
過去,高階掩模長期依賴進口雕刻。而現在,公司已經在江蘇無錫實現了90nm掩模的穩定量產,成功構建55nm、40nm工藝平臺,並持續向28nm等先進節點推進。這一躍升,背後是一場與物理極限的博弈。團隊負責人回憶,攻關超高精度圖形制作時,團隊成員連續數月駐守產線,在圖形轉換、材料適配、精密檢測等關鍵階段實現了重要突破。“這要求我們在接近物理極限的尺度上,實現近乎完美的工藝一致性,我們最終用系統協同把它變成了現實。”
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在何小龍看來,半導體行業的新質生產力,核心是從規模驅動轉向創新驅動、從單一環節轉向融合發展、從常規運營轉向數字引領雕刻。重慶12吋產線提前一年半達成月產出3萬片目標;高階功率器件已批次上車;深圳12吋特色模擬積體電路生產線聚焦特色工藝積體電路製造與研發,工藝節點覆蓋90nm、55nm、40nm,並向28nm技術演進;先進封測基地模組營收持續攀升……
8吋CVD生產車間(央廣網發 華潤微電子有限公司供圖)
在轉型過程中,行業仍面臨高階複合型人才短缺、產業鏈關鍵環節短板、長期投入與短期回報平衡三大共性挑戰雕刻。對此,華潤微向內推出“數字人才計劃”培育專業團隊,向外加強產業鏈協同攻關,以戰略聚焦與精準投入相結合的方式,在破局挑戰中穩步前行,既堅守技術攻堅的定力,也注重階段性成果的落地。
面向未來,華潤微電子畫出了一張更長的增長路線圖雕刻。從消費電子、工業控制、新能源汽車向AI、機器人、低空經濟等新興領域延伸,以特色工藝平臺為支撐,將功率半導體、智慧感測器、智慧控制的應用場景不斷拓寬。加快碳化矽、氮化鎵等技術的產業化程序,在智慧駕駛、光量子資訊等方向開展前瞻研發,為長期發展培育新動能。
“新質造的本質,是讓創新從實驗室走進生產線,從樣品變成產品,最終成為產業競爭力雕刻。”何小龍說。在這條路上,每一張“精密底片”的雕琢,都是中國半導體向價值鏈高階躍遷的刻度。
監製雕刻:伏成鐳
策劃雕刻:欒永勝
記者雕刻:李婕
海報設計雕刻:王宣宣